Вакуумный напылительный пост ВН-3000, Оборудование для нанесения покрытий, Сумы
Описание товара
Вакуумный напылительный пост ВН-3000, Оборудование для нанесения покрытий
Установка предназначены для исследовательских работ по распылению
металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и DC,электронно-лучевого испарителя, термического испарения и ионного
травления.
Область применения - приборы электронной техники, материаловедения,
микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных
технологических операций по напылению.
Технические данные
Масса установки не более 420 кг.
Габаритные размеры установки:
- стойка аналитическая 900мм х 610мм х 1620мм,
- стойка электрическая 600мм х 600мм х 2160мм.
Технические параметры
- Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме
не более 2×10-3Па.
- Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в
районе подложки не менее 300оС.
- Время нагрева до температуры 300оС не более 30 мин.
- Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки
в диапазоне от 5 об/мин до 15 об/мин.
- Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки)
регулируется от 0 кВ до (4,0±0,2) кВ.
- Максимальный ток пучка электронно-лучевого испарителя - 200 мA.
- Максимальный ток блока питания накала катода электронно-лучевого
испарителя - 20 А.
- Мощность блока питания магнетрона RF регулируется от 0 Вт до (500±50) Вт.
- Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки)
(1,2±0,1) кВ.
- Ток блока питания магнетрона DC регулируется от 0 мА до (1000±50) мА.
- Максимальный ионный ток устройства ионного травления/очистки - 100 мA.
- Установка обеспечивают откачку рабочего объема от атмосферного
давления до давления 6,0×10-3Па за время не более 45 мин.
- Установка имеют систему индикации давления в рабочем объеме в
диапазоне от 1,0×105Па до 1,0×10-4Па.
- Диаметр мишени - от 42 до 104 мм.
- Автоматическая система управления.
Товары, похожие на Вакуумный напылительный пост ВН-3000, Оборудование для нанесения покрытий
Заявленная компанией Сумы-Прибор, ЧП цена товара «Вакуумный напылительный пост ВН-3000, Оборудование для нанесения покрытий» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании Сумы-Прибор, ЧП по указанным телефону или адресу электронной почты.