Вакуумная техника, Киев

Вакуумная техника

· Adixen (Alcatel Vacuum Technology)

· Austin Scientific

· Centrotherm clean solution

· DH-Budenberg

· MKS Instruments

· Tegal Corporation

Компания Adixen (Alcatel Vacuum Technology) имеет более чем 40-летний опыт производства высококачественных форвакуумных и высоковакуумных насосов, компактных высоковакуумных откачных постов, течеискателей, вакуумметров и соединительной арматуры.

Форвакуумные насосы:
масляные пластинчато-роторные
диафрагменные (мембранные) насосы
компактные безмасляные форвакуумные насосы
Насосы Рутса и откачные агрегаты на их основе
Безмасляные насосы для полупроводниковой промышленности
Высоковакуумные турбомолекулярные насосыи откачные посты на их основе
Течеискатели:
гелиевые
водородные
фреоновые
Вакуумметры
Вакуумная арматура
Клапаны и шиберы
Датчик измерения влажности для сублимационной сушки
Плазменный датчик для полупроводниковой промышленности.

Компания Tegal Corporation является одним из ведущих разработчиков и производителей плазменного оборудования по осаждению и травлению для полупроводниковой технологии.

Tegal Corporation предлагает передовое оборудование для технологий Реактивно- Ионного травления (DRIE, RIE), для
традиционного осаждения (PVD) и наноосаждения (NLD) в области НИР и массового производства для
МЭМС технологий, производства планарных и 3х мерных интегральных схем, использующих различные
материалы подложки.
Оборудование обеспечивает высокую производительность при
невысокой стоимости владения.

Компания Austin Scientific является мировым производителем криогенных насосов и гелиевых компрессоров к ним. В крионасосах отсутствуют подвижные части, рабочие жидкости или другие рабочие элементы, способные загрязнить откачиваемый объем, что полностью исключает попадание каких-либо загрязнений в вакууммируемый объем во время откачки.

Кригенные насосы
Гелиевые компрессоры

Компания Centrotherm clean solution производит системы пассивации технологических газов (Скрубберы), производственное оборудование для полупроводниковой промышленности (100..300 мм), оборудование для технологических процессов: отжиг, оксидирование, диффузия, PECVD, LPCVD с возможностью загрузки (одной пластины) до поточного (конвейерного производства), а также печи для отжига, конвейерные системы (различные технологические этапы производства, связанные с термической обработкой), системы вакуумной пайки.

Компания MKS Instruments является мировым поставщиком инструментов, подсистем и целых производственных комплексов, которые позволяют измерять, контролировать, питать, выводить на цифровой экран и анализировать критические параметры сложных производственных процессов.