ПИУС-КП01. Двухзондовая установка измерения УЭС прутков кремния, Киев

Установка предназначена для измерения удельного сопротивления и
определения типа электропроводности необработанных прутков кремния, разработана на основе SEMI MF397-02 «Test Method for Resistivity of Silicon Bars Using a Two-Point Probe».
Обеспечивается автоматическое измерение УЭС и контроль типа
электропроводимости методом термозонда и ВАХ на необработанных прутках
кремния, имеющих параметры:

• диапазон значений удельного сопротивления 1-1000 Ом*см;
• диаметр 6-10 мм;
• длина 180-250см.;
• волнистость (неоднородность диаметра по длине), не более ±0,5мм.;
• искривление по длине (отклонение средней линии прутка от прямой, соединяющей его концы), не более ±4мм.;
• эллиптичность (разница между наибольшим и наименьшим диаметром, измеренным в одном сечении) не более ±1,0мм.

Параметры измерения зондовыми контактами, выполненными из карбида вольфрама, следующие:

• расстояние между зондами двухзондовой головки 10±0,1мм;
• расстояние между точками измерения 100±5мм.;
• расстояние первой измерительной точки от левого края прутка, не более 100мм;
• тип электропроводимости кремния определяется с дискретностью 1мм;

Установка работает в автономном режиме, имеет терминал в виде цветного
сенсорного экрана и укомплектована персональным компьютером. Терминал служит для управления установкой,
отображения текущих результатов и сохранения результатов в
энергонезависимой памяти. В энергонезависимую память записывается
полная информация по результатам измерений данного прутка, которая в
любое время может быть передана и визуализирована на компьютере и, при
необходимости, выведена на печать или удалена. ПК предназначен для
отображения, анализа и печати результатов, накопленных в памяти
установки, возможно также управление измерением. После окончания
измерений на экран ПК выводится следующая информация:

• график распределения УЭС и типа электропроводимости по прутку с указанием координаты;
• максимальное, минимальное, среднее значение и среднеквадратичное отклонение удельного сопротивления по прутку.